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驱动电流密度对低压容性射频鞘电势及离子动能的影响
释义
驱动电流密度对低压容性射频鞘电势及离子动能的影响
Effect of Driving Current Density on Low-Pressure Capacitive Radio Frequency Plasma Sheath Potential Difference and Ion Kinetic Energy
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更新时间:2026/1/18 7:36:42